等离子体源离子注入表面改性

来源 :纺织基础科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:judge119
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研究了等离子体源离子注入对聚酰亚胺薄膜电性能的改变。处理后该薄膜面电阻率下降6个数量级。由X光电子能谱及全反射衰减红外谱分析,注入时聚酰亚胺表面分子链上的C=0、C—H、C—N、C=C等化学键被离子部分地打断而形成富碳层,并有无定形碳存在,是面电阻率下降的主要原因。
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