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期刊论文
等离子体源离子注入表面改性
等离子体源离子注入表面改性
来源 :纺织基础科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:judge119
【摘 要】
:
研究了等离子体源离子注入对聚酰亚胺薄膜电性能的改变。处理后该薄膜面电阻率下降6个数量级。由X光电子能谱及全反射衰减红外谱分析,注入时聚酰亚胺表面分子链上的C=0、C—H
【作 者】
:
吴知非
陈惠敏
【机 构】
:
中国纺织大学,南通纺织工学院
【出 处】
:
纺织基础科学学报
【发表日期】
:
1992年4期
【关键词】
:
等离子体源
离子注入
表面改性
聚酰亚胺
薄膜
PSⅡ
Surface modification
PI film
Surface resistivity
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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研究了等离子体源离子注入对聚酰亚胺薄膜电性能的改变。处理后该薄膜面电阻率下降6个数量级。由X光电子能谱及全反射衰减红外谱分析,注入时聚酰亚胺表面分子链上的C=0、C—H、C—N、C=C等化学键被离子部分地打断而形成富碳层,并有无定形碳存在,是面电阻率下降的主要原因。
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