【摘 要】
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全息光刻可通过空间光调制器数字微镜器件（DMD）加载计算全息图构建数字掩膜来实现,罗曼编码是常用的编制计算全息图的方法,它采用透明矩形孔的高度和位置分别编码全息图抽样单
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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全息光刻可通过空间光调制器数字微镜器件（DMD）加载计算全息图构建数字掩膜来实现,罗曼编码是常用的编制计算全息图的方法,它采用透明矩形孔的高度和位置分别编码全息图抽样单元的幅值和相位.通常,DMD再现此类二元全息图需合并多个微镜来表示单个矩形孔,这会大大降低其像素利用率和分辨率.针对这个问题,提出一种改进的罗曼编码,该编码充分利用DMD的二进制脉宽调制特性,采用灰度值编码全息图抽样单元的幅值,将全息图的透过率由二元型转换成灰阶型,从而有效减少单个抽样单元所占用的微镜数.采用MATLAB编程对改进的罗曼编码
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