【摘 要】
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目前各生产厂使用的晶圆图谱（WaferMap）文件类型多种多样,对WaferMap文件的读取产生很大困难。常规解决办法是针对每种文件类型,编写不同的程序算法进行读取。这种情况下每出现
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
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目前各生产厂使用的晶圆图谱（WaferMap）文件类型多种多样,对WaferMap文件的读取产生很大困难。常规解决办法是针对每种文件类型,编写不同的程序算法进行读取。这种情况下每出现一种新WaferMap类型文件,就需要软件添加程序,用于读取并解析该类型文件。为了解决这个问题,对多种类型WaferMap文件进行研究,找出不同类型WaferMap文件的共性,得出一种通用型WaferMap文件读取算法。凡文件内含有饼图的WaferMap文件,都可以采用该算法读取解析,解决了对新WaferMap类型,需要添加新
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