Cδ掺杂Al_xGa_(1-x)A_s多层外延与超晶格的MOVPE生长及其霍耳评估

来源 :浙江大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lllllllllllllvvvvvvv

【摘要】

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使用自动变温霍耳测试系统测定了减压ＭＯＶＰＥ外延生长的Ｃδ掺杂ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ多层外延与ｐｉｐｉＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ超晶和。结果表明，以ＴＭＡｌ为掺杂源的Ｃδ掺杂ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ多层外延样品的二维空们浓度可达到１．１＊１０＾１３／ｃｍ＾２，比以ＴＭＧ为掺杂源的样品提高一个数量级，且

【作者】

：

董争 Li G

【机构】

：

浙江大学科学与工程学系

【出处】

：

浙江大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2000年5期

【关键词】

：

霍耳测试砷化镓镓铝砷碳δ掺杂超晶格

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使用自动变温霍耳测试系统测定了减压ＭＯＶＰＥ外延生长的Ｃδ掺杂ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ多层外延与ｐｉｐｉＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ超晶和。结果表明，以ＴＭＡｌ为掺杂源的Ｃδ掺杂ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ多层外延样品的二维空们浓度可达到１．１＊１０＾１３／ｃｍ＾２，比以ＴＭＧ为掺杂源的样品提高一个数量级，且其掺杂浓度对Ａｌ摩尔分数的依赖程度远使使用ＴＭＧ为低。实验还发现具有１０＾１５／ｃｍ＾２二维空穴浓度的Ｃδ反杂

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