【摘 要】
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利用射频磁控溅射法(MS-RF)在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO:Sb薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、透射光谱、光致发光谱(PL)和拉曼散射光谱(Raman)等手段研究了Sb掺杂浓度对Z
【机 构】
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重庆市光电功能材料重点实验室,重庆师范大学光学工程重点实验室;
【基金项目】
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重庆师范大学博士基金(批准号:10XLB022)资助的课题~~
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利用射频磁控溅射法(MS-RF)在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO:Sb薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、透射光谱、光致发光谱(PL)和拉曼散射光谱(Raman)等手段研究了Sb掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构、光致发光和拉曼特性的影响.结果表明:所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向;在Sb掺杂ZnO薄膜的拉曼光谱中观察到位于532cm-1的振动模式,结合XRD分析认为此峰归因于Sb替代Zn位且与O成键的局域振动模式(LVMSbO);光致发光谱测试发现,仅在ZnO:Sb薄膜中观察到位于3.11eV附近的紫光发射峰,结合拉曼光谱分析认为此峰与SbZn-O复合体缺陷相关.
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