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期刊论文
正压漏孔校准方法研究
正压漏孔校准方法研究
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yjn511
【摘 要】
:
以国内外正压漏孔校准装置及技术的发展现状为基础,研究了定容变压法、恒压变容法、动态比较法等正压漏孔校准方法,分析了这些方法的基本原理、装置构成和漏率测量范围,同时
【作 者】
:
冯焱
张涤新
李得天
盛学民
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2010年2期
【关键词】
:
真空计量学
正压漏孔
校准方法
vacuum metrology
pressure leak
calibration method
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以国内外正压漏孔校准装置及技术的发展现状为基础,研究了定容变压法、恒压变容法、动态比较法等正压漏孔校准方法,分析了这些方法的基本原理、装置构成和漏率测量范围,同时将它们的关键技术、实现的难易程度、优缺点等进行了比较和评价,并对我国正压漏孔校准技术的研究工作提出了建议。
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