相干照明相关论文
在传统的光学成像中,成像系统简单化和高成像质量往往是一个矛盾的问题,为了解决这个问题,本文在简单光学系统中,基于计算自适应光......
运用模糊函数方法，给出了在部分相干照明下，具有光栅旋转角的Ｌａｕ效应的光强分布公式，讨论了Ｌａｕ效应的旋转灵敏角和光源空间相干性的关系．并修......
在理论分析的基础上，对近相干照明下双光栅衍射干涉效应的Ｆｏｕｒｉｅｒ谱进行实验研究．证实了Ｆｏｕｒｉｅｒ谱在特定条件下出现的分裂现象，讨论了两光栅之间的距......
基于波前加工的观点，从调整像面光强分布出发，提出一种在掩模上添加亚分辨的亮暗衬线校正光学邻近效应的新方法，并详细讨论了添加这种......
采用λ／２的光束复制出了更高分辨率极限的线间图形。它将电路图形的ＣＤ尺寸极限推进到λ／４，当采用１９３ｎｍ光源曝光时，ＣＤ尺寸为５０ｎｍ以下。干涉光刻技术（ＩＬ）探讨......
采用部分相干成象理论对二元光栅照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力、焦深、照明能量和照明均匀性的影响，并通......
本文继《地震记录和岩层剖面的相干光学处理研究》之后,将相干光学和非相干光学相结合,提出了图片的光学综合处理方法。利用该方法......
引言早在1953年,美国密歇根大学首先开始研究和发展相干光学计算机系统,并与美国陆军和空军有关部门订立研究合同。该计划称之为......
高速摄影系统的时间分辨率是指能够分开瞬变事件二个相邻时态的能力。对于分幅记录,就是分幅时间;对于扫描记录,还不能说有了统一......
本文简述了用电视摄象机进行工业尺寸测量的微分法与拟合法的基本原理,同时详细的讨论了各自所能达到的精度极限。本文用实验验证......
本文所研究的扫描式线宽测量仪是一种带光度测量的非接触式测量精密线宽的显微镜,可以对微小尺寸上反映出来的光度变化通过光电转......
本文采用数字分析方法研究了相干照明下摄像机的空间分辨率、数字滤波和离焦诸因素对微粒直径的测量精度的影响,提出了一种简单的......
推导了相干照明下衍射受限螺旋相衬成像系统的成像公式,总结了影响螺旋相衬法成像效果的螺旋相位板参数,包括中心尺寸、整体尺寸以......
GX—4型分离视场显微镜,是为配套我所研制的GK一4型半自动光刻机而设计的。其主要特点是成象清晰度好,景深长,观察光线舒适柔和,......
本文描述了紫外、x射线电子束及离子束光刻中分辨率、套刻精度及视场的限制。在讨论中得出如下结论:1)对1μm宽的线条,光学投影的......
集成电路的发展离不开光学技术.就光刻工艺来说,可以预言,在今后相当长的时间内,仍然还会采用各种形式的光束光刻技术.虽然光学方......
向千兆位拓进的光学光刻技术Ｍ．ＤａｖｉｄＬｅｖｅｎｓｏｎ各种光刻技术的开发使ｉ线（３６５ｎｍ）和深紫外（ＤＵＶ）光学光刻技术的寿命大有希望延伸到亚半微米时代。这些新技术包括离轴......
本文提出以物体表面精细光学结构在白光照射下辐射率随机分布函数作为散斑场,以全息软片为记录介质,采取无镜头成象技术,得到宽频......
傅里叶变换的概念于1946年由迪福克斯引入光学领域，与物理光学相结合，形成了信息光学的重要分支-傅里叶光学，分数傅里叶变换的概念于1......
采用一种非单调的突跳型密度分布半色调屏进行密度切片,以减少线是对切片输出的影响。给出了卫星遥感图象等密度抽取的实验结果,实......
应用付里叶光学方法，定量地处理了在相干光照下，杨氏装置的狭缝宽度的相干问题，得到了光强分布的一般结果。......
判断光学仪器分辨本领最常用的是瑞利判据，但除了瑞利判据外，还有泰勒判据［１］［２］和史派劳判据［３］等．本文针对单缝衍射和圆孔衍射，用这三种判据在......
19.3.1.6厚全息图:布拉格衍射和反射全息图三维干涉图我们在前面对全息记录和再现的分析是基于假设全息图是“平面”,也就是说,假......
