【摘 要】
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采用系统集成技术把硅基MEMS惯性器件的敏感结构和专用处理电路集成在一起，即可减小寄生信号干扰，又可抑制有用信号的衰减，是进一步提高硅基MEMS惯性器件的关键技术。本文对硅基惯性器件的集成技术进行了探索研究，并提出了硅基惯性器件集成技术方案，介绍了兼容MEMS技术和SOC技术的中间硅通孔技术，对中间硅通孔技术的设计、工艺加工、以及封装等技术进行了研究，并进行了可行性分析。
【机 构】
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北京微电子技术研究所,北京100076
【出 处】
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2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会
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采用系统集成技术把硅基MEMS惯性器件的敏感结构和专用处理电路集成在一起，即可减小寄生信号干扰，又可抑制有用信号的衰减，是进一步提高硅基MEMS惯性器件的关键技术。本文对硅基惯性器件的集成技术进行了探索研究，并提出了硅基惯性器件集成技术方案，介绍了兼容MEMS技术和SOC技术的中间硅通孔技术，对中间硅通孔技术的设计、工艺加工、以及封装等技术进行了研究，并进行了可行性分析。
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