【摘 要】
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在激光分子束外延生长钛酸钡（BaTiO3，BTO）薄膜过程中，初期多粒子碰撞反应过程是薄膜形成的关键过程。本文采用密度泛函理论中的广义梯度近似（DFT／GGA），在PW91／DNP水平上研究了Ba、Ti、
【机 构】
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四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室,四川师范大学物理与电子工程学院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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在激光分子束外延生长钛酸钡（BaTiO3，BTO）薄膜过程中，初期多粒子碰撞反应过程是薄膜形成的关键过程。本文采用密度泛函理论中的广义梯度近似（DFT／GGA），在PW91／DNP水平上研究了Ba、Ti、0、02、BaO、TiO2以及BTO分子在真空中的优先反应形成与演化过程，计算研究了它们碰撞反应及其中间体的形成机理，获得了相应中间体的几何结构、过渡态及反应活化能。并运用前线轨道理论分析了BTO分子形成机理。对比BTO、SrTiO3（STO）原胞的计算。详细分析了BTO铁电薄膜钙钛矿结构形成的因素，结果
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