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用低温等离子体化学法从无水四氯化锡和纯氧体系合成出非晶态SnO_2超微粒子粉末。研究了各反应物流量对产物的形态,组成的影响。对淀积物进行XRD、IR、TEM和XPS分析,并研究了后处理温度与超微粒子粉末粒度的关系。结果表明,平均粒度随着后处理温度的增加而增加,当后处理温度低于250℃时,平均粒径为35。