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传统的球度测量方法很难达到亚微米级的测量准确度。为此，提出了超精密球度激光干涉测量的新方法，介绍了测量装置的结构及测量原理，并给出了球面波和球度计算的数学模型。
超精密球度的激光干涉测量方法
【摘 要】
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传统的球度测量方法很难达到亚微米级的测量准确度。为此，提出了超精密球度激光干涉测量的新方法，介绍了测量装置的结构及测量原理，并给出了球面波和球度计算的数学模型。
【机 构】
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中国航天工业总公司第一计量测试研究所
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1999年2期
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