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ＡＳＭＬ公司推出０．３５μｍ特征尺寸的ｉ线步进机ＡＳＭＬ公司在最近的ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ展览会上展出了一种新型的０．３５μｍｉ线步进机。该种步进机ＰＡＳ５５００／２００售价为３９９万美元，９６年二季度开始发货。其关......
Ｓｔｅｐｐｅｒ领域的欧洲劲旅———ＡＳＭＬ公司荷兰的ＡＳＭＬ光刻设备公司，创建于１９８４年，其前身为最早（１９７３年）在世界上设计、开发了第一台片子步进机（Ｓｔｅｐｐｅｒ）雏形的荷兰Ｐｈｉｌｉｐｓ公司。它是......
Rudolph Technologies日前宣布将为光刻设备供应商ASML Holding NV(ASML)提供边缘检测工具,助其提升浸没式光刻工艺中晶圆缺陷检测......
Albany纳米科技与工程学院(CNSE)及欧洲比利时微电子中心IMEC日前宣布,将就深紫外光刻(EUVL)实验展开合作,来加速产业化应用。另外......
ASM光刻公司本月将向IBM公司地处纽约的东菲什基尔工厂提交第一台生产型PAS5500/80i线步进机。 这种基价预计超过200万美元的系统......
在过去的几年中,ASML公司以创新的浸没式技术引领着光刻设备市场,又一次刷新了半导体制造的路线图.通过对浸没式光刻技术的再现和......
针对协议测试中,状态机描述、测试集成环境和被测实现彼此独立带来的问题,提出了在可视化编程环境下利用抽象状态机模型和桩函数结......
基于可执行规范的实现-测试同步开发模式可以将错误尽早消灭在各个开发阶段的初期.其理论基础是抽象状态机ASM,实现工具是支持.NET......
半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司，宣布了一种新的氟化氩(ArF)准分子激光器——GT40A(发射波长193nm，重复率为4kHz)。这个新模......
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在前道光刻机领域,荷兰ASML公司处于绝对的技术领先和市场垄断地位。ASML本质上是一组拥有核心技术的独立企业联盟,本着优势互补、......
光刻技术要数现代集成电路上的第一大难题。光蚀刻系统制造的精细程度取决于很多因素。但是实现跨越性进步的有效方法是降低使用光......
介绍了ASM1中主要动力学参数 μm ,A、bH、μm ,H和kh 等的测定方法 ,并对每个参数的不同测定方法进行了对比。通过对批量反应器或......
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针对SOA应用系统中的服务动态扩展问题进行研究,提出了基于SOA的服务动态扩展系统模型,该模型在SOA架构的基础上,引入了服务资源池......
